Головки волоконно-оптических датчиков вакуумно стойкие E32
Документы
Даташит OMRON E32-V E252-E1-1 (PDF, на английском)
Каталог OMRON Fiber-optic sensors E56E-EN-07 (PDF, на английском)
Руководство OMRON по подбору Fiber sensor selection guide E418-E1-22 (PDF, на английском)
Производитель: Omron
Описание
E32 вакуумно стойкие — головки волоконно-оптических датчиков OMRON для работы внутри вакуумной камеры. Задача здесь двойная: сам датчик должен выдержать разрежение и нагрев, а ввод волокна через стенку камеры — не пропускать газ. Поэтому серия состоит из головок и герметичных фланцев: утечка фланца не превышает 1 × 10⁻¹⁰ Па·м³/с. Волокно у части моделей стеклянное, оболочка — фторопласт, стойкий к моющим средствам, или спираль из нержавеющей стали. Теплостойкость доходит до 200 °C. Типовое применение — производство полупроводников и плоских панелей.
Рядом в разделе: теплостойкие E32 — до 400 °C вне вакуума, химически стойкие E32 — фторопласт для моечных участков, E32 специального назначения — головки для пластин, стекла и жидкости.
Характеристики
| Головки на пересечение луча | E32-T51V — M4, от −40 до 120 °C, 400 мм с усилителем E3X-HD и 600 мм с E3NX-FA; E32-T54V — ∅3 мм, от −40 до 120 °C, 250 и 370 мм; E32-T84SV — ∅3 мм, от −60 до 200 °C, 950 и 1400 мм |
|---|---|
| Плоская головка | E32-G86V-1 — 33 × 18 × 5,5 мм, от −40 до 70 °C, дистанция 5 мм |
| Фланцы ввода | E32-VF4 — четырёхканальный, 80 × 80 × 49 мм; E32-VF1 — одноканальный, 96 × ∅30 мм |
| Утечка фланца | не более 1 × 10⁻¹⁰ Па·м³/с |
| Температура фланца | от −25 до 55 °C |
| Соединительное волокно | E32-T10V длиной 2 м — от фланца к усилителю |
| Допустимый радиус изгиба | R30 у головок, R25 у соединительного волокна |
| Обрезка по длине | головки не обрезаются; соединительное волокно E32-T10V обрезать можно |
| Материал головки | алюминий или нержавеющая сталь |
| Материал волокна | стекло у головок, PMMA у соединительного волокна |
| Оболочка | фторопластовое покрытие или спираль из нержавеющей стали |
| Материалы фланца | алюминий и нержавеющая сталь, уплотнение — фторкаучук (viton) |
Как собирается схема
Головка стоит внутри камеры, фланец врезается в её стенку и делит тракт на две части: волокно со стороны вакуума и соединительное волокно E32-T10V со стороны атмосферы, которое идёт к усилителю. Уплотнение из фторкаучука держит границу, поэтому замена усилителя или перекладка кабеля не требуют вскрытия камеры. К головкам E32-T51V и E32-T54V подходит вакуумная теплостойкая линза E39-F1V на температуру до 120 °C — она увеличивает дистанцию.
Документация OMRON
Перечень моделей, чертежи фланцев и данные по утечке — в даташите OMRON E32-V Vacuum Sensor (Cat. No. E252) и в каталоге Fiber-optic sensors (Cat. No. E56E). Дистанции в таблице выше — для усилителей E3X-HD и E3NX-FA; E3X-HD снят с производства, и по руководству OMRON Fiber sensor selection guide (Cat. No. E418) у E3X-ZV, которым OMRON заменяет большую часть его исполнений, они те же.
